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仪器名称:场发射扫描电子显微镜(含能谱仪、波谱仪、背散射电子衍射仪)
主要参数:二次电子像分辨率1.2nm(30kV),最大放大倍数300,000×
主要功能:微区形貌观察、材料断口形貌及失效分析、微区成分定性/定量分析