仪器名称：双束扫描电子显微镜（含能谱仪、背散射电子衍射仪、FIB）

主要参数：二次电子像分辨率1.2nm（30kV），最大放大倍数300,000×

主要功能：微区形貌观察、材料断口形貌及失效分析、微区成分定性/定量分析、聚焦离子束显微加工、变温过程组织原位观察