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仪器名称:高温激光扫描共聚焦显微镜
主要参数:分辨率1.27μm (TOS 5× NA: 0.16), 1.88μm (TOS 10× NA: 0.23),
0.58μm (TOS 20× NA: 0.35), 0.51μm (TOS 5× NA: 0.51)
温度范围50 ~ 1700℃
主要功能:样品加热原位观察、3D表面测量